Nanoscale Lithography with Electron Exposure of SiO 2 Resists

Thomas Whidden, John Allgair, Angela Jenkins-Gray, Maroun Khoury, Michael Kozicki, David Ferry

Producción científica: Contribución a una revistaArtículorevisión exhaustiva

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Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Nanoscale Lithography with Electron Exposure of SiO 2 Resists'. En conjunto forman una huella única.

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